SJ/T 10478-1994 磁控溅射设备通用技术条件
作者:标准资料网
时间:2024-04-20 09:49:38
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基本信息
| 标准名称： | 磁控溅射设备通用技术条件 |
| 英文名称： | General specification for magnetic sputtering equipment |
| 中标分类： | 医药、卫生、劳动保护 >> 医药、卫生、劳动保护综合 >> 技术管理 |
| 发布日期： | 1994-04-11 |
| 实施日期： | 1994-10-01 |
| 首发日期： | 1900-01-01 |
| 作废日期： | 1900-01-01 |
| 出版社： | 电子工业部标准化研究 |
| 出版日期： | 2004-04-18 |
| 页数： | 11页 |
适用范围
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前言
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目录
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引用标准
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所属分类： 医药 卫生 劳动保护 医药 卫生 劳动保护综合 技术管理
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