标准名称：	半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法
英文名称：	Test methods for measuring resistivity of semiconductor wafers or sheet resistance of semiconductor films with a noncontact eddy-current gauge
中标分类：	冶金 >> 半金属与半导体材料 >> 半金属与半导体材料综合
ICS分类：	电气工程 >> 半导体材料
替代情况：	替代GB/T 6616-1995
发布部门：	中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期：	2009-10-30
实施日期：	2010-06-01
首发日期：	1986-07-26
作废日期：
主管部门：	全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
提出单位：	全国半导体设备和材料标准化技术委员会
归口单位：	全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
起草单位：	万向硅峰电子股份有限公司
起草人：	楼春兰、朱兴萍、方强、汪新平、戴文仙
出版社：	中国标准出版社
出版日期：	2010-06-01
页数：	12页
计划单号：	20065621-T-469

本标准规定了用非接触涡流测定半导体硅片电阻率和薄膜薄层电阻的方法。
本标准适用于测量直径或边长大于25mm、厚度为0.1mm~1mm 的硅单晶切割片、研磨片和抛光片的电阻率及硅薄膜的薄层电阻。测量薄膜薄层电阻时,衬底的有效薄层电阻至少应为薄膜薄层电阻的1000倍。

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GB/T1552 硅、锗单晶电阻率测定 直排四探针法
ASTM E691 引导多个实验室测定试验方法的惯例

【英文标准名称】:Opticalfibrecables-Part2-50:Indoorcables-Familyspecificationforsimplexandduplexcablesforuseinterminatedcableassemblies(IEC60794-2-50:2008);GermanversionEN60794-2-50:2008
【原文标准名称】:光纤光缆.第2-50部分:室内光缆.终端光缆附件用单股和双股光缆类规范
【标准号】:DINEN60794-2-50-2009
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:2009-02
【实施或试行日期】:2009-02-01
【发布单位】:德国标准化学会(DE-DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:电缆护套;光缆;通信电缆;定义;双工;电缆;导电体;电气工程;类规范;纤维光学;光纤;玻璃纤维光缆;室内光缆;光波导;插头;单工;规范;通信
【英文主题词】:Cablesheaths;Cables;Communicationcables;Definition;Definitions;Duplex;Electriccables;Electricconductors;Electricalengineering;Familyspecification;Fibreoptics;Glassfibrecables;Insidecables;Opticalwaveguides;Plugs;Simplex;Specification;Telecommunication;Telecommunications
【摘要】:
【中国标准分类号】:M33
【国际标准分类号】:33_180_10
【页数】:36P.;A4
【正文语种】:德语